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1.臺面尺寸：65*95mm
2.精度：1微米
3.分辨率：0.1微米
4.負載：20kg
5.行程：20mm
屬于6軸電動調芯的一個直線單元，也可以單獨適用，適用于精度要求很高，體積要求小的實驗系統(tǒng)。
 

(責任編輯：睿誠科儀bmsl.com.cn)